Apakah pita penunjuk plasma?

Pita penunjuk plasma adalah bahan pengesanan pintar yang digunakan khusus untuk sistem vakum dan proses plasma. Ia memberikan maklum balas masa nyata mengenai parameter utama melalui perubahan fizikal dan kimia khas. Ia secara intuitif boleh memaparkan keadaan plasma dan bibir mikro yang tidak dapat dilihat oleh mata manusia.

1. Langkah berjaga -jaga untuk penggunaan pita penunjuk plasma

(1). Pretreatment permukaan

Sebelum menampal, permukaan yang akan diuji mesti dibersihkan dengan aseton atau isopropil alkohol. Selepas menyapu, biarkan ia berdiri selama 2 minit untuk memastikan pelarut itu benar -benar disejat. Tenaga permukaan selepas rawatan hendaklah ≥38dyn/cm, yang boleh disahkan oleh ujian pen dyne. Jangan sentuh permukaan pelekat secara langsung dengan jari anda untuk mengelakkan pencemaran minyak yang boleh menyebabkan penurunan kepekaan.

(2). Operasi menampal

Selepas mengupas pita penunjuk dari filem pelepasan anti-statik, perlahan-lahan menggulungnya sepanjang satu hujung dan menggunakan tekanan seragam 0.5-1kg/cm². Gunakan pengikis silikon untuk menolak tepi untuk menghilangkan gelembung. Gelembung kecil dengan diameter ≤1mm dibenarkan. Selepas menampal, biarkan ia berdiri selama 5 minit untuk membolehkan lapisan pelekat ke tahap sepenuhnya. Pengelupasan dan penampakan berulang adalah dilarang sama sekali. Setiap pewarna semula akan menyebabkan pelekat menurun sebanyak lebih daripada 50%.

2. Kriteria kegagalan pita penunjuk plasma

(1) Kriteria kegagalan fizikal

Kerosakan substrat: retak yang kelihatan (panjang> 2mm) atau penyahkawalan berlaku, dan substrat mengalami warping yang tidak dapat dipulihkan (jejari lenturan> 15 °).
Kegagalan pelekat: Kawasan sisa permukaan pelekat> 5% (mempengaruhi pengembaraan semula), kekuatan kulit jatuh kepada kurang daripada 30% daripada nilai awal (mesti diuji dengan penguji tegangan).
Pencemaran dan Kakisan: Pencemar zarah yang tidak dapat dipatuhi mematuhi permukaan (saiz zarah> 50μm dan ketumpatan> 3/cm²), dan substrat dikikis oleh plasma untuk membentuk lubang (diameter> 1mm).

(2) kriteria kegagalan kimia

Reaksi perubahan warna yang tidak normal: Di bawah keadaan standard (seperti plasma argon 50W), masa perubahan warna melebihi nilai nominal sebanyak ± 30%, dan kawasan perubahan warna menunjukkan penyebaran tidak seragam (perbezaan diameter tempat warna> 20%).
Kegagalan salutan: Kawasan mengelupas salutan sensitif> 10% (pemerhatian mikroskop), ΔE nilai jatuh> 40% selepas penggunaan berulang (pengesanan spektrofotometer). Kerosakan Kestabilan Kimia: Pengambilan substrat berlaku selepas pendedahan kepada gas menghakis (seperti CL₂, F₂), dan pendedahan kumulatif kepada kepekatan ozon yang lebih besar daripada 0.2ppm selama lebih dari 24 jam.

Pita penunjuk plasma mesti diganti jika keadaan berikut berlaku:
Retak atau delaminasi lebih besar daripada 2mm panjang berkembang pada substrat; Kawasan permukaan pelekat sisa lebih besar daripada 5% mempengaruhi penentuan semula; Masa tindak balas perubahan warna meningkat sebanyak lebih daripada 50% berbanding dengan nilai awal; Waktu pendedahan terkumpul melebihi jangka hayat yang ditentukan oleh pengeluar.

3. Syarat Penyepaduan untuk Pita Petunjuk Plasma

(1) Keperluan alam sekitar

Suhu: 15-25 ℃ (turun naik <± 3 ℃/h)
Cahaya-bukti: Keamatan UV <10μW/cm²
Debu-bukti: Kelas kebersihan 1000 atau ke bawah

(2) Spesifikasi pembungkusan

Beg foil aluminium asal dimeteraikan (kadar penghantaran wap air <0.1g/m²/hari)
Disimpan dari tanah dalam kabinet anti-statik (rintangan permukaan 10³-10⁶Ω)